PerkinElmer于1937年4月由Richard Perkin和Charles Elmer合伙创建，1944年推出了商用红外光谱仪IR (Model 12)，1955年推出了商用气相色谱仪GC (Model 154)，1983年推出了商用 ICP-MS (ELAN 250)，1999年推出了带反应池的ICP-MS，并获Pittcon金奖( ELAN 6100 DRC)。
以往大家一般都是从技术演进的角度来进行回顾。分析仪器是人们眼睛的扩展和延伸，大脑所获得的信息中，超过80%是通过眼睛获得的。现在是信息时代，我们可以从信息论的角度重新看一下其历史，如下表所示。
表1. 从信息论的角度重新审视ICP-MS的发展历史
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出现的问题 |
解决方案 |
时间 |
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1974年ICP发射光谱仪出现后，常量元素的定性和定量取得快速发展，但分析微量和痕量元素时，分析信号弱，而干扰信号却相对很强，如何在强干扰背景下采集和放大弱信号呢？ |
ICP-MS诞生，质谱比光谱灵敏度提高上千倍，同时元素的同位素一般不超过10个，谱线干扰大大降低，例如，Fe的谱线在ICP上有4400多条，而在ICP-MS上只有54、56、57、58这4条谱线，因而ICP-MS中谱线能量更集中，谱线相互干扰更少。 |
1983年 |
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ICP-MS自诞生之日起，Li、In、U、Be、Y、Bi这些没有干扰的金属元素的检出限就可以达到ppt量级，一直到现在几乎未有实质性的改进。但是，Si、P、S、Cl、As、Se，这些元素的分析信号依然很弱，而在特定基体中的干扰信号却相对很强，如何在强干扰背景下采集和放大这些弱信号呢？K、Ca、Fe、V、Zn、Cr、Cd这些金属元素虽然分析信号很强，但在特定基体下干扰信号更强，怎么办？ |
在原有一个四极杆的基础上，再增加一个四极杆，形成串极质谱，通过CH4、NH3等还原性气体形成还原反应，或者O2、NO等氧化性气体形成氧化反应，直接消除干扰物，或者质量转移将分析物转移到没有干扰的新位置，即便在干扰信号比分析信号强一百万倍以上的情况下，依然可以对分析信号进行准确测定。
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1999年 |
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在消除了海产品中砷分析的干扰后，人们发现海产品中砷的含量比其他食品要高很多，但毒性却很小，进一步的研究发现，三价砷、五价砷、一甲基砷、二甲基砷、砷甜菜碱对老鼠的半致死量LD50分别是4.5、15、1800、2600、10000 mg/kg，毒性相差较多的可达2000多倍。如何在相近的信号中找出有价值的信息呢？ |
在ICP-MS的基础上，再增加一个HPLC，将砷的各种形态先在时间轴上分开，再进行检测。 在此基础上人们也研究了汞、硒、锡、铬等的价态和形态，另外也研究了GC、CE等各种分离设备与ICP-MS联用的可能性和应用。 |
随着GB 5009.11-2014 食品中总砷及无机砷的测定等标准的发布，形态分析已经从科学研究转变成了日常性的检测工作。 |
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地质年代学研究需要测试锆石，传统分析需要空气磨蚀、化学分解和U/Pb分离等比较复杂的前处理过程,实验流程本底要求特别低,一般全流程铅空白为0.03～0.05ng,铀空白为0.002～0.004 ng，而且其突出的缺陷是无法揭示复杂锆石内部微区的U/Pb和207Pb/206Pb年龄信息。如何在微米级别的区域内提取出有用的信息呢？ |
在ICP-MS的基础上，再增加一个激光烧蚀LA，通过激光微米级别的光斑将样品瞬间气化并吹入等离子体，从而将样品在三维空间轴上分开，实现微区分析。 后来人们通过连续的激光扫描，实现了样品的元素二维或三维空间成像。 |
激光光束波长变短，光斑变小，脉冲周期变短（目前已经发展到飞秒激光），使得微区分析和元素成像不断发展。 |
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微米级别的差异都可以分开了，那，纳米级别的差异呢？ |
在ICP-MS的基础上，提高仪器的信号采集速度，再增加一个专用的纳米颗粒分析软件。 |
2014年 |
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锆石和纳米颗粒都是死的，那活的细胞之间的差异能分析吗？ |
在四极杆ICP-MS的基础上，提高仪器的信号采集速度，再增加一个专用的单细胞分析软件。 |
2016年 |
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能不能分析细胞之间上百个维度上的差异呢？ |
四极杆ICP-MS的分析速度已经无法满足信息获取速度的要求，只能将四极杆换成TOF，这就是CyTOF，即质谱细胞仪。 |
2004年 |
Q：未来十年ICP-MS仪器和应用方面将会有哪些发展趋势呢?
1. 仪器的使用会越来越“傻瓜化”，英国的垃圾箱上没有文字说明，只有图案标识：一个是玻璃瓶，一个纸袋，一个碎屑的点，哪怕不识字的人也知道怎么进行垃圾分类。规则越简单，执行越容易。“傻瓜”就是愚蠢，但“傻瓜式”却是聪明人的匠心之作。
2. 仪器的结构模块化，为了应对企业及第三方检测机构用户的几乎不停机的需求，模块式插拔和更换将有可能让用户在几分钟内自行维修完毕。
3. 仪器的分析自动化程度会越来越高，从取样到报告，无人值守将成为可能甚至成为必须。配备了自动进样器的激光烧蚀系统(LA)有可能让土壤、地矿等领域的样品从压片到上机全程自动化，并且每天检测上万个样品，而食品和临床的样品经过深度破碎至5微米以下而直接进样，也可以达到每天上万个样品分析的高通量。
4. 仪器的结果图形化呈现，透过数据看规律和找规律会成为仪器使用者的主要工作，设计实验方案的人可能完全不懂仪器，但他们可能会成为真正的分析专家或者分析科学家，就像一个大厨，他并不知道菜刀的成分是什么，更不知道菜刀是怎么做出来的，他甚至不知道液化气灶贫燃和富燃时为什么颜色不一样，但这并不妨碍他做出一桌子色香味俱佳的美味。
