En 中

应用报告 | 第二代 S8 TIGER 分析工业硅中的杂质元素含量-依据GB/T 14849.5

原创 应晓浒 布鲁克X射线部门 2022-07-15 17:00 发表于北京

介绍

工业硅含有98%以上的Si，以及Fe、Al、Ca等杂质成分。是生产多晶硅、铝硅合金、硅铁、有机硅等产品的主要原料。

多晶硅是光伏、半导体的基础材料，纯度在6N以上，因此对工业硅的杂质提出了更高的要求。X射线荧光光谱法可直接分析固体样品，省却了其他分析方法的样品消解、去硅等繁琐制样步骤，正在成为工业硅中杂质元素的主要分析方法。为适应行业发展，国家有色金属标准化技术委员会于2010年制定了《GB/T 14849.5-2010 工业硅化学分析方法 第5部分：元素含量的测定 X射线荧光光谱法》，分析工业硅中的Fe、Al、Ca。2014年在旧版的基础上，制定了《GB/T 14849.5-2014 工业硅化学分析方法 第5部分：杂质元素含量的测定 X射线荧光光谱法》，扩大了分析范围。本报告依据GB/T 14849.5-2014，分析了工业硅中Fe、Al、Ca、Mn、Ni、Ti、Cu、P、Mg、Cr、V等杂质元素的含量。
仪器

图1：第二代 S8 TIGER

Bruker公司的第二代S8 TIGER型X射线荧光光谱仪为工业硅杂质成分分析提供解决方案：

• SampleCareTM样品保护和原位测量技术可以确保工业硅压片样品的安全性，有效保护系统关键组件
• HighSenseTM技术使得元素可获得的灵敏度，尤其是P等含量在ppm水平的痕量元素

样品制备

工业硅样品研磨后，采用压片方法制备样品。

校准曲线

用11个CRM标准样品建立校准曲线，分析了工业硅中11个杂质元素，。

精密度

对工业硅标样YSBC28666-2019进行重复性测试，可以看到精密度优于标准GB/T 14849.5的要求。